浙江大学绍兴研究院微电子研究中心检测平台取得资质认定证书
2023-06-14来源:绍芯公众号
经过材料准备、网上申请、现场评审、整改提高等环节,浙江大学绍兴研究院检测平台成功通过检验检测机构资质评审认证,取得《检验检测机构资质认定证书》,具备失效分析(FA)、电性测试(ET)、可靠性测试(RA)等多元化、全面化的功率微电子检测服务。
业务范围
01 静态参数测试
高压晶圆级与封装后高压大电流功率器件及模块的静态参数测试,包括:IV特性、CV特性、漏电流、击穿电压、栅电荷等静态参数的测试。测试能力:最高电压3000V,最大电流1500A(晶圆级:20A)。
02 动态参数测试
高压大电流功率器件及模块的动态参数的测试,包括:器件的开关时间、开关功耗等主要动态参数以及器件的短路电流的测试。测试能力:母线电压6500V,最大电流800A。
03 失效分析
器件的封装缺陷及芯片内部缺陷及失效分析。器件内部形貌的确定,器件结构的观察定位分析,分辨率达到纳米量级。
04 可靠性评估
各种功率器件的可靠性验证与评价,包括器件的高温反偏、高温栅偏、温度循环,功率循环、温度冲击、恒温恒湿、加速老化、高温储存等试验,以及可靠性试验过程中的热阻和漏电流等的评价。